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Busch Produkte

3-Achssysteme

Standardsysteme mit X-Achse kombiniert als XY-Tisch

Charakterisierung:

Grundaufbau aus Granit
Höchste Systemgenauigkeit durch ideale Abstimmung aller Komponenten
Antrieb durch Linearmotoren in XY/ Servomotor in Z
Variable Position der Z-Achse möglich
Besonders steife Auslegung der Traverse
Inkrementelles Messsystem

Varianten:

Absolutes Messsystem
Messsysteme aus Invar oder Zerodur
Luftlager für höchste Ansprüche
Mit Untergestell und/oder Steuerung
X-Achse kombiniert als XY-Tisch oder auf der Traverse
Weitere Z-Achsen möglich

Basisdaten – konfigurierbar nach ihrer Anwendung

Antriebssystem	Eisenbehaftete Linearmotoren in XY/ Servomotor in Z
Auflösung des Messsystems	100 – 1 nm
Reproduzierbarkeit (Mean & Peak-to-Peak)	Abhängig von Auflösung und Steuerung
Verfahrweg X	200 – 1.000 mm
Verfahrweg Y	200 – 1.000 mm
Verfahrweg Z	100 – 300 mm
Max. Geschwindigkeit	1 m/s
Max. Beschleunigung	10 m/s²

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