Antriebssystem | Torquemotor |
Auflösung des Messsystems | 100 – 1 nm |
Reproduzierbarkeit (Mean & Peak-to-Peak) | Abhängig von Auflösung und Steuerung |
Verfahrweg | 360 ° |
Max. Geschwindigkeit | 150 rad/s |
Max. Beschleunigung | 6.000 rad/s² |
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