BUSCH Microsystems GmbH

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Busch Produkte

XY-Tische

mit magnetisch vorgespanntem Luftlager

Charakterisierung:

  • wartungsfrei
  • keine Reibung
  • hohe Laufruhe
  • reinraumtauglich
  • magnetisch vorgespannte Luftlager

Varianten:

  • Ohne Apertur
  • Steifigkeit über Luftlager einstellbar
  • Inkrementelles oder absolutes Messsystem
  • Mit oder ohne Steuerung
Basisdaten – konfigurierbar nach ihrer Anwendung
XY Verfahrweg200 mm x 300 mm
Geschwindigkeit200 mm/s
Beschleunigung1 m/s²
Führungsgenauigkeit0,4 µm
Rechtwinkligkeit<5 µm/m
MesssystemInkrementell, SinCos - Analog 1Vpp
Absolute Genauigkeit0,4 µm
Reproduzierbarkeit0,2 µm
Traglast5 kg

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